%0 Journal Article
%T HIGH QUALITY NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS GROWN BY RF-HFCVD<br>RF—HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜
%A QIU Dong Jiang
%A WU Hui Zhen
%A CHEN Nai Bo
%A SHI Cheng Ru
%A <br>邱东江
%A 吴惠桢
%A 陈奶波
%A 石成儒
%J 红外与毫米波学报
%D 2002
%I Science Press
%X 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W .在该条件下金刚石成核密度达 10 11cm-2 ,经 1h生长即获得连续薄膜 ,其平均晶粒尺寸为 2 5nm ,表面粗糙度仅为 5 5 ,在近红外区域 (80 0nm处 )的光透过率达 90 % .
%K nanocrystalline diamond film
%K RF
%K HFCVD
%K optical transmission<br>RF－HFCVD
%K 生长
%K 纳米金刚石薄膜
%K 射频等离子体增强热丝化学气相沉积
%K 光透过率
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=488912950DB3E047&yid=C3ACC247184A22C1&vid=659D3B06EBF534A7&iid=38B194292C032A66&sid=ED01F5AE50BE09C0&eid=C5F8B8CB20F1B3D8&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=14