%0 Journal Article
%T IR DETECTOR ARRAY WITH QUARTZ MICROLENS<br>微透镜阵列用于线列红外探测器的研究
%A ZHANG Xin
%A Yu
%A YI Xin
%A Jian
%A ZHAO Xing
%A Rong
%A MAI Zhi
%A Hong
%A HE Mi
%A Ao
%A <br>张新宇
%A 刘鲁勤
%J 红外与毫米波学报
%D 1998
%I Science Press
%X 采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列，用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件，用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器。
%K quartz microlens
%K superconducting IR detector
%K microlens/ IR detector composite device<br>石英微透镜
%K 超导
%K 红外探测器
%K 微透镜
%K 组件
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=8B0A75ED19152FAD&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=BCA2697F357F2001&iid=0B39A22176CE99FB&sid=2922B27A3177030F&eid=04445C1D2BDA24EE&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=2&reference_num=5