%0 Journal Article
%T DEVELOPMENT OF INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER BY SYNCHRONOUS ROTATION OF THE POLARIZER AND ANALYZER<br>同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制
%A HUANG Zhi
%A Ming
%A JIN Shi
%A Rong
%A CHEN Shi
%A Wei
%A CHEN Min
%A Hui
%A SHI Guo
%A Liang
%A CHEN Liang
%A Yao
%A CHU Jun
%A Hao
%A <br>黄志明
%A 金世荣
%A 陈诗伟
%A 陈敏辉
%A 史国良
%A 陈良尧
%A 褚君浩
%J 红外与毫米波学报
%D 1998
%I Science Press
%X 研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪，其测量波长范围为２．５～１２．５μｍ，入射角度在２０°～９０°连续可变．系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制．给出了金反射率和ＧａＡｓ体材料折射率椭偏测量，并与其它方法进行了对比，并分析了实验测量技巧和主要实验误差
%K infrared spectroscopic ellipsometer
%K ellipsometric parameter
%K optical constant<br>红外
%K 椭圆偏振
%K 光谱仪
%K 椭偏参数
%K 光学常数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=A9277CAD878FCBF1C781093B53B59314&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=BCA2697F357F2001&iid=94C357A881DFC066&sid=4AD4BA66429F5627&eid=377D325742940769&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=8&reference_num=1