%0 Journal Article
%T 硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管的界面分析与电特性
%A 谢伯兴
%A 林猷慎
%A 徐晓华
%A 张景韶
%A 范滇元
%J 红外与毫米波学报
%D 1988
%I Science Press
%X 对硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管(SBD)的界面性质作了AES谱和EBIC像分析,估算了Pd_xSi_y层厚度和肖特基结的结深。在室温下由示波器响应脉冲波形估算SBD对1.06μm激光的响应时间小于1ns。从深能级瞬态电容谱仪得到的DLTS谱峰计算出样品表面空间电荷区中深能级的能级位置E_T—E_V=0.33eV,俘获截面σ_p(248K)=4.4×10~(-18)cm~2,深能级的平均杂质浓度N_T=0.085(N_A—N_D)。讨论了激光响应脉冲波形后沿变缓现象。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=05F3FD7E94EA0167574CC6929B15CC3B&yid=0702FE8EC3581E51&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=0B39A22176CE99FB&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0