%0 Journal Article
%T DEVELOPMENT OF A NEW TYPE THIN-FILM THERMOPILE INFRARED DETECTOR<br>新型薄膜温差电堆红外探测器的研制
%A Sun Tietun
%A Zhou Nansheng
%A <br>孙铁Tun
%A 周南生
%J 红外与毫米波学报
%D 1994
%I Science Press
%X 介绍一种新设计的薄膜型温差电堆红外探测器。该器件将吸收层与敏感面分两侧，用ＴＯ－５型封装的新结构。采用半导体工艺研制的Ф１型样品，其结集成度达２２个／ｃｍ＾２，响应率为３０～５０Ｖ／Ｗ，弛豫时间为７０～１２０ｍｓ，光谱响应范围从紫外到远红外可调（由窗口材料选定）。
%K thermopile
%K responsivity
%K relaxation time<br>温差电堆
%K 弛豫时间
%K 红外探测器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=E7E7E3CA7E3947820345EF16B585DD1A&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=FC0714F8D2EB605D&iid=0B39A22176CE99FB&sid=0B4F496D54044D86&eid=1B97AE5098AEB49C&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=2