%0 Journal Article
%T FABRICATION OF Si CONCAVE MICROLENSES ARRAY<br>凹型Si微透镜阵列的制作
%A HE Miao
%A YI Xin-Jian
%A CHENG Zu-Hai
%A <br>何苗
%A 易新建
%A 程祖海
%A 刘鲁勤
%A 王英瑞
%J 红外与毫米波学报
%D 2002
%I Science Press
%X 提出了一种新的曲率倒易法首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑、单元重复性好,其平均凹深为2.643μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08μm.
%K Si
%K concave microlenses array
%K Ar ion beam etching<br>Si
%K 凹微透镜阵列
%K 氩离子束刻蚀
%K 硅
%K 制作
%K 曲率倒易法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=2745EF4CD5C3F88B&yid=C3ACC247184A22C1&vid=659D3B06EBF534A7&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=27746BCEEE58E9DC&eid=933658645952ED9F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=9