%0 Journal Article
%T 测定均匀介质膜之厚度、折射率及消光系数的新方法
%A 吕志明
%A 徐伟良
%J 红外与毫米波学报
%D 1984
%I Science Press
%X 对于生长在全吸收衬底上的有限厚度的均匀薄膜,用椭圆偏振光谱来测量膜厚d,折射率n(λ)及消光系数κ(λ)面临着困难。借助于对透明光学玻璃(或石英玻片)上薄膜透射率Τ-波长λ关系的测量,本文找到了与膜厚相关的一个方程,因而找到了测定d、n(λ)、κ(λ)的方法。基于这样一种认识:同一条件下,在透明光学玻璃(或石英玻片)上和单晶硅衬底
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=B9F2BC7B217C68C8C93E69B459504B68&yid=36250D1D6BDC99BD&vid=38B194292C032A66&iid=E158A972A605785F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0