%0 Journal Article
%T 用室温红外透射谱研究Hg1—xCdxTe外延薄膜的组份分布
%A 褚君浩
%A 李标
%J 红外与毫米波学报
%D 1996
%I Science Press
%X 根据Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ本征吸收系数的经验公式及Ｈｏｕｇｅｎ模型，建立了一种用室温红外透射谱研究Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜组份均匀性的方法，用这种方法检测了ＬＰＥ、ＭＢＥ、ＭＯＣＶＤ薄膜的组份分布，并与二次离子质谱（ＳＩＭＳ）测量结果进行了比较。
%K 红外透射谱
%K 外延薄膜
%K HgCdTe
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=3F3633B23B6DD945B4028E200D4F70D3&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=35FC3610259C2B32&eid=7AA74D31F1FF2DCE&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0