%0 Journal Article
%T 用于测量半导体材料氧含量的9.1μmCO_2激光器
%A 何懋麒
%A 王国益
%A 赵有源
%A 高如芳
%A 王兆永
%J 红外与毫米波学报
%D 1985
%I Science Press
%X 测量半导体材料中氧含量的微区分布,需要9.1μm附近、基模、1W左右且支线稳定、结构紧凑的CO_2激光器。本文对这种激光器的设计方案进行了实验研究。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=8E0C560F851FE5BC1D54A5223EAACD07&yid=74E41645C164CD61&vid=E158A972A605785F&iid=E158A972A605785F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0