%0 Journal Article
%T INVESTIGATION OF Si BASED GaAs/GaAlAs PLANAR OPTICAL WAVEGUIDE<br>硅基GaAs／GaAlAs平面光波导的研究
%A Zhao Cezhou
%A Zhu Zhuoyun
%A Li Yaojing
%A <br>赵策洲
%A 刘恩科
%J 红外与毫米波学报
%D 1996
%I Science Press
%X 分析了金属有机化合物化学气相淀积（ＭＯＣＶＤ）ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ／Ｓｉ材料结构的性能，用ＭＯＣＶＤ法地硅衬底上生长了ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ材料，并用这种材料制备了平面光波导样品，测定了１．３μｍ，单模激光的传输损耗小于０．６５ｄＢ／ｃｍ。
%K GaAs/GaAlAs/GaAs/Si structure
%K MOCVD
%K optical waveguide<br>GaAsAl
%K MOCVD
%K 光波导
%K 砷化镓
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=AAACDD78C78B489FA06750A50C76D695&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=38B194292C032A66&sid=78F0EFE028BD3783&eid=E089FDF3CDAE8561&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=3