%0 Journal Article
%T APPLICATION OF INFRARED TRANSMISSION SPECTRA IN ASSESSMENT OF HgCdTe EPILAYERS<br>红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用
%A Yang Jianrong
%A Wang Shanli
%A Guo Shiping
%A He Li
%A <br>杨建荣
%A 王善力
%J 红外与毫米波学报
%D 1996
%I Science Press
%X 用最新发表的ＨｇＣｄＴｅ材料的光学常数对ＭＢＥ工艺生长的ＨｇＣｄＴｅ／ＣｄＴｅ／ＧａＡｓ材料的透射光谱进行了理论计算，对受生长工艺破坏的衬底背面再次进行抛光处理，消除因表面不平整引起的漫反射效应，使实验测量得到的光谱曲线与理论计算结果很好地吻合，由此得到的ＨｇＣｄＴｅ和ＣｄＴｅ外延层的厚度和解理面上用显微镜测量的数值相同。
%K HgCdTe
%K epilayer
%K infrared transmission spectra<br>HgCdTe
%K 外延层
%K 红外透射光谱
%K 薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=C3C84F67C1754A1C9502E7F45C21FD8D&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=94C357A881DFC066&sid=170CE8B011EA4FD9&eid=2E01F39B6CBD53DE&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=8&reference_num=5