%0 Journal Article
%T a-Si:H合金膜的高速制备法
%A 于振瑞
%A 孙仲林
%J 红外与毫米波学报
%D 1987
%I Science Press
%X 总结了几种能大幅度提高沉积速率的方法。分别给出了这几种方法的沉积速率,分析了它们能提高沉积速率的原因,以及所制备的a-Si:H膜的光电性质。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=A23542D84C8E9FF7AE2D07A472DF6D6D&yid=9C2DB0A0D5ABE6F8&vid=B31275AF3241DB2D&iid=38B194292C032A66&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0