%0 Journal Article
%T 硅上SiO_2膜的红外吸收光谱
%A 刘春荣
%J 红外与毫米波学报
%D 1985
%I Science Press
%X 本文用IR-450S型红外分光光度计测量了湿氧热氧化、开管水蒸汽热氧化和氧等离子体阳极氧化SiO_2膜在室温下的红外吸收光谱。实验表明,在2.5～50μm波段内,其红外吸收带的位置均靠近9.26μm、12.42μm和21.88μm。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=B7A5E6E4C0C87BCA78B38BA9617B430F&yid=74E41645C164CD61&vid=E158A972A605785F&iid=38B194292C032A66&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0