%0 Journal Article
%T 开管充气扩散法制备InSbp-n结
%A 乐洪发
%A 林先齐
%A 张月琴
%J 红外与毫米波学报
%D 1983
%I Science Press
%X 本文报道用开管充气扩散法制备InSb的p-n结,使探测器的零偏压阻抗和探测率得到很大的提高。结合采用表面钝化技术后,器件的反向击穿电压也大大提高,单元器件的边缘效应和多元列阵的串音问题也得到较彻底的解决。现已用此工艺制造出高性能的单元、64元InSb列阵器件及10元TDI和20元多路传输红外COD。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=8FA97ED5B9A127A9767A013DC726CE22&yid=A7F20A391020FDEE&vid=0B39A22176CE99FB&iid=E158A972A605785F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0