%0 Journal Article
%T POLYVINYLCABAZOL-DIAZIDE--A NEGATIVE DEEP UV RESIST
负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系
%A FENG Shu-jing
%A YANG Yong-yuan
%A GAO Zhi-min
%A
冯树京
%A 杨永源
%A 高志民
%J 高分子学报
%D 1986
%I
%X 本文合成了4,4′-双叠氮二苯基砜。选用聚乙烯咔唑-4,4′-双叠氮二苯基砜体系,用30W紫外杀菌灯为光源进行了曝光特性的研究,发现在聚乙烯咔唑中加入5%的4,4′-双叠氮二苯基砜,其灵敏度比聚乙烯咔唑本身的灵敏度提高了30倍。该体系并具有很好的耐热性。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=6579068328FE643F&jid=15971983683C7643EE80F1CE621DEB60&aid=80AE6F11E3C05E48&yid=4E65715CCF57055A&iid=B31275AF3241DB2D&sid=A6683C8C0EB9BCA7&eid=30F3EEEA29E34EE7&journal_id=1000-3304&journal_name=高分子学报&referenced_num=0&reference_num=0