%0 Journal Article
%T Optical Properties of Amorphous Silicon Film by Spectrophotometry<br>用分光光度法研究非晶硅薄膜的光学性质
%A FANG Xiao-ling
%A GAO Fei
%A LIU Wei
%A WANG Jian-jun
%A YAN Chun-yu
%A ZHANG Jia-wen
%A <br>方晓玲
%A 高斐
%A 刘伟
%A 王建军
%A 晏春愉
%A 张佳雯
%J 光子学报
%D 2008
%I 
%X 提出了一种测量薄膜透射光谱的方法.该方法用自制的夹具改进了分光光度计,保证了在测量大小不同的样品时参考光的强度和入射到待测样品上光的强度相同.利用改进后的分光光度计测量了沉积在玻璃衬底上非晶硅薄膜的透射光谱,并对透射光谱进行了拟合和计算,确定出非晶硅薄膜的光学常量和厚度.
%K Spectrophotometer
%K Amorphous silicon film
%K Refractive index
%K Absorption coefficient<br>分光光度计
%K 非晶硅薄膜
%K 折射率
%K 吸收系数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=54F954986E395074AB9BA0F7848CAF2E&yid=67289AFF6305E306&vid=42425781F0B1C26E&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=BD667367F07B7EA7&eid=A84288F223082930&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=2&reference_num=10