%0 Journal Article
%T Test of Large Aperture Parabola Mirror by Laser Interferometric<br>激光干涉法检测大口径抛物面反射镜
%A QUAN Gui-qin
%A AN Yu-ying
%A LI Qing-guo
%A <br>权贵秦
%A 安毓英
%A 李庆国
%J 光子学报
%D 2008
%I 
%X 针对非球面度为0.2λ的大口径抛物面反射镜,采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测.对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减,得到被检抛物面镜的实际面形误差.将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中,并与波面相减技术相结合,从而使检测准确度提高了0.1λ.用自准直法验证了本方法的可行性.
%K Aspheric surface
%K Parabola
%K Laser interferometric
%K Wave subtraction
%K Absolute test<br>非球面
%K 抛物面
%K 激光干涉法
%K 波面相减
%K 绝对检测
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=E48B4291AF3BEBE648529450EC8C9E80&yid=67289AFF6305E306&vid=42425781F0B1C26E&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=44EEEA929A173FC7&eid=438F607B4D053FEF&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=4&reference_num=11