%0 Journal Article
%T Optical Quality Measurement of Target Lens<br>靶镜光学质量检测技术的研究
%A LIU Dan
%A HUANG Hui-jie
%A REN Bing-qiang
%A XU De-yan
%A ZENG Ai-jun
%A WANG Xiang-zhao
%A <br>刘丹
%A 黄惠杰
%A 任冰强
%A 徐德衍
%A 曾爱军
%A 王向朝
%J 光子学报
%D 2007
%I 
%X 提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径为270mm的非球面靶镜的能量集中度和波像差进行了检验,其结果与激光数字波面干涉仪的测量结果相吻合,其中能量集中度的相对测量误差为7.7%,波像差的相对测量误差为10.2%,验证了该检测技术的有效性.
%K Optical testing
%K Scanning Hartmann test apparatus
%K Target lens
%K Encircled energy
%K Wavefront aberration<br>光学检验
%K 扫描型哈特曼检测装置
%K 靶镜
%K 能量集中度
%K 波像差
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=ABCBDD0999D651CD163B62C6DA95A953&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=933658645952ED9F&iid=94C357A881DFC066&sid=BD0BCC5CD284A664&eid=0FBB0D015A3E9A88&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=8