%0 Journal Article
%T Fabrication of Waveguide by Photosensitive Sol-Gel Method<br>1感光溶胶-凝胶法制备光波导研究
%A PENG Xin-ling
%A ZHAO Gao-yang
%A <br>彭新玲
%A 赵高扬
%J 光子学报
%D 2008
%I 
%X 采用溶胶-凝胶技术与化学修饰相结合的方法,制备了具有紫外感光特性的SiO2/Al2O3溶胶及其凝胶薄膜,并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构,经一次提拉制膜就可获得18 μm厚的感光性凝胶薄膜利用薄膜自身的感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,再经过溶洗和200℃、1 h的热处理,就可获得厚度达到15 μm、线宽约为100 μm的波导阵列对这种波导薄膜的折射率和的透射率进行了研究.
%K Waveguide
%K Organic-inorganic composite
%K Patterning
%K Sol-gel
%K Chemical modification<br>光波导
%K 有机-无机复合
%K 微细图形
%K 溶胶-凝胶
%K 化学修饰
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=8623BA39AEE6A87AE915D2FE2DF3D341&yid=67289AFF6305E306&vid=42425781F0B1C26E&iid=B31275AF3241DB2D&sid=4759DE41370E2E7A&eid=47D3259DD85FC8F7&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=2&reference_num=11