%0 Journal Article
%T Far-Field Diffraction Pattern Analysis of Tiled Gratings<br>大面积拼接光栅的远场衍射分析
%A MA Yan-qin
%A DU Jing-lei
%A CHEN Ming-yong
%A <br>马延琴
%A 杜惊雷
%A 陈铭勇
%J 光子学报
%D 2007
%I 
%X 针对大面积光栅制作过程易出现的拼接偏差问题,基于标量衍射理论推导拼接光栅远场衍射的光强分布,计算分析几种常见拼接误差对拼接光栅性能的影响,以确定光栅拼接过程的误差容限.研究表明:拼接光栅的远场衍射光场随纵向和横向平移误差的变化呈周期性,且这两种平移误差带来的影响可相互补偿;而拼接光栅的旋转误差对远场衍射光场分布的影响较严重,当旋转误差增大到9.5875×10-5度时,衍射光场的峰值光强降为0.9,且两光栅各自峰值出现的方向成9.5875×10-5度.
%K Tiled grating
%K Far-field diffraction
%K Alignment error
%K Maximum intensity<br>拼接光栅
%K 远场衍射
%K 拼接误差
%K 远场衍射峰值光强
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=8586DA53B27D95FB427790D33C3043A3&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=933658645952ED9F&iid=E158A972A605785F&sid=81D76BB45305F8B7&eid=04EA291949415E08&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=12