%0 Journal Article
%T Investigation of a Micro Shear Stress Sensor Using the Geometrical Moiré Effect<br>基于几何莫尔效应的剪应力传感器设计研究
%A LIU Kui
%A YUAN Wei-zheng
%A DENG Jin-jun
%A MA Bing-he
%A JIANG Cheng-yu
%A <br>刘奎
%A 苑伟政
%A 邓进军
%A 马炳和
%A 姜澄宇
%J 光子学报
%D 2007
%I 
%X 结合风洞检测剪应力对高灵敏度和高响应频率传感器的设计要求,提出了基于莫尔效应转化敏感元件位移的微型光栅式剪应力测量方式.针对传感器的机械灵敏度、线性度和谐振频率的应用要求对敏感元件进行设计,并在敏感元件结构设计尺寸的基础上对莫尔条纹灵敏度及其相位变化进行分析计算,完成微型光栅式剪应力传感器的结构设计流程.
%K Micro sensor
%K Moiré
%K Effect
%K Sensitivity
%K Resonant frequency<br>微传感器
%K 莫尔效应
%K 灵敏度
%K 谐振频率
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=5168A32AE0449CEF740A070F5F5E7A3C&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=933658645952ED9F&iid=E158A972A605785F&sid=710C005323C0774A&eid=128B7AEF80A42C95&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=7