%0 Journal Article
%T Experimental Study on Fixing the Origin of Polar Coordinate Laser Writing Systems<br>极坐标激光直写系统原点定位的实验研究
%A 李凤有
%A 谢永军
%A 卢振武
%A 王肇圻
%J 光子学报
%D 2004
%I 
%X 分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度 ,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位 在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验 ,得出了原点定位的准确度 ,原点定位准确度优于 0 .5 μm ,实验与理论定位准确度基本一致
%K Polar coordinate laser writing systems
%K Fixing the origin of coordinate
%K Laser direct writing<br>极坐标激光直写系统
%K 坐标原点定位
%K 激光直写
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=B31217354A178AC5&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=27746BCEEE58E9DC&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=4E3541241257D204&eid=73810A8E3A4195A6&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=3&reference_num=10