%0 Journal Article
%T SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS
PLZT(28/0/100)薄膜的溶胶—凝胶制备技术及显微结构
%A CHEN Zhixiong
%A TANG Dahai
%A
陈志雄
%A 唐大海
%A 刘梅冬
%A 王培英
%A 吴国安
%A 丁军勇
%J 材料研究学报
%D 1995
%I
%X 用溶胶—凝胶技术及回旋法,在石英玻璃和单晶si基片上制备PLZT(28/0/100)多晶薄膜;在SrTiO3和α-A12O3单晶基片上外延生长择优取向薄膜.其外延关系分别为(100)PLZT(28/0/100)//(100)SrTiO3和(100)PLZT(28/0/100)//(0001)Al2O3.用IR,XRD.RHEED,SEM和SIMS分析凝胶中杂质、凝胶的分子结构和薄膜的显微结构.结果表明,用溶胶—凝胶技术能制备出显微结构良好的多组份陶瓷薄膜.
%K sol-gel
%K PLZT thin film
%K epitaxial growth
%K microstructure
溶胶-凝胶
%K PLZT薄膜
%K 外延生长
%K 显微结构
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=C101C4C04993B4D94FCD8446E6CBEB3B&aid=BF469665AA4AA6DFC5EC428CDB11EE80&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=9CF7A0430CBB2DFD&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=228A710F49B6CE58&eid=E203FB1A272C9DD2&journal_id=1005-3093&journal_name=材料研究学报&referenced_num=2&reference_num=4