%0 Journal Article
%T A Novel Capacitive Pressure Sensor<br>一种新型电容式压力传感器
%A Huang Xiaodong
%A Huang Jianqiu
%A Qin Ming
%A Huang Qing''''an
%A <br>黄晓东
%A 黄见秋
%A 秦明
%A 黄庆安
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 提出了一种新的电容式压力传感器.传感器结构为由Al/SiO2/n-type Si等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造,制造过程仅需三块掩模板.对不同边长传感器进行测试,在410～1010hPa的动态范围,边长为1000,1200和1400靘的压力传感器,相应灵敏度分别为1.8,2.3和3.6fF/hPa.边长为1500靘的传感器,其灵敏度为4.6fF/hPa,全程非线性度为6.4%,最大滞回误差为3.6%.分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因.
%K capacitive pressure senor
%K electrostriction
%K pn junction self-stop etching
%K adhesive bonding
%K linearity<br>电容式压力传感器
%K 电致伸缩
%K pn结自停止腐蚀
%K 粘结剂键合
%K 线性度
%K capacitive
%K pressure
%K senor
%K electrostriction
%K pn
%K junction
%K self-stop
%K etching
%K adhesive
%K bonding
%K linearity
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=8C492666AA2E3640A44987E106856AF8&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=38B194292C032A66&sid=B7ACE2F11789CAE0&eid=4BEA9A781F286FC6&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=10