%0 Journal Article
%T A 16×16 Micro Mirror Array for Optical Switches<br>16×16光开关微镜阵列
%A Chen Qinghu
%A Wu Wengang
%A Wang Ziqian
%A Yan Guizhen
%A Hao Yilong
%A <br>陈庆华
%A 吴文刚
%A 王子千
%A 闫桂珍
%A 郝一龙
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 设计、制造和测试了一种实现16×16 MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤.微镜.光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%～96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5～90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.
%K 4225B
%K 4230Q
%K optical switch
%K micro-mirror array
%K large rotation
%K electrostatic actuation
%K MEMS<br>光开关
%K 微镜阵列
%K 大角度
%K 静电驱动
%K 微电机系统PACC:4283
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=752B1522D79749058C1086953651F3B4&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=5D311CA918CA9A03&sid=592CC3414B588215&eid=D6ABCD9C81633DC2&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=9