%0 Journal Article
%T MEMS Shocking-Acceleration Switch with Threshold Modulating and On-State Latching Function<br>开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
%A Jia Mengjun
%A Li Xinxin
%A Song Zhaohui
%A Wang Yuelin
%A <br>贾孟军
%A 李昕欣
%A 宋朝晖
%A 王跃林
%J 半导体学报
%D 2007
%I 
%X 介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过CoventorWare软件模拟,得到悬臂梁型开关在各种加速度输入信号(阶跃、脉冲和半正弦)情况下的瞬态响应过程.开关的实际阈值范围为1000~5000g,响应速度小于60μs.采用MEMS技术制造开关,并通过冲击加速度测试验证了设计结果.
%K :MEMS
%K shocking-acceleration switch
%K threshold adjusting function
%K latching function
%K electro-mechanical coupling principle<br>MEMS
%K 冲击加速度开关
%K 开关点电可调节
%K 锁定
%K 机电耦合
%K 开关点
%K 调节
%K MEMS
%K 冲击加速度
%K Function
%K Threshold
%K 结果
%K 设计
%K 测试验证
%K 制造
%K 响应速度
%K 范围
%K 响应过程
%K 瞬态
%K 正弦
%K 脉冲
%K 输入信号
%K 梁型
%K 悬臂
%K 软件模拟
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=346B212D758B44D2&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=5D311CA918CA9A03&sid=73839ECFB80A3712&eid=F1F469D6A2E9D130&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=7