%0 Journal Article
%T A PdPc-PANI Modified SAW Sensor and Phosphorous-Containing Toxic Gas Detection<br>酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测
%A Shi Yunfen
%A Shi Yunbo
%A Sun Mojie
%A Feng Qiaohua
%A <br>施云芬
%A 施云波
%A 孙墨杰
%A 冯侨华
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 针对含磷毒气快速检测问题,以自制的杂化酞菁钯.聚苯胺为敏感膜材料,设计了一种双信道声表面波(SAW)传感器.阐述了传感器的基本原理,推导出以有机膜作为信道中间介质时,差频输出△f由物理化学吸附两种机制叠加的数学模型.依据声波振荡条件,设计了146±5MHz振荡频率的信号采集电路;以钽酸锂晶体为压电基片,通过MEMS微加工技术形成叉指电极对和加热膜;以真空镀膜工艺将敏感膜材料成膜,修饰在SAW信道中间区域构成SAW传感器.测试结果表明:最优气敏性时的材料配比为PdPc0.35PANI0.65;芯片加热60～80℃可提高性能,响应时间≤30s;输出与测试气体浓度与数学模型一致,为线性变化率-110kHz(mg/m3)的N型线性关系;抗汽油、CO2等气体干扰;80天稳定性考核,△f≤±0.1kHz,满足实际使用要求.
%K PdPc-PANI hybrid
%K SAW sensor
%K phosphorus-containing toxic gas<br>酞菁钯.聚苯胺杂化
%K SAW传感器
%K 含磷毒气
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=EDB4ADCA50B4866BB6035D87E25C1458&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=94C357A881DFC066&sid=EAA944F99AA73B33&eid=15A3E3A739C4EF3F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=12