%0 Journal Article
%T Fabrication of a novel lumped electro-absorption modulator with a lower RC-time constant<br>一种具有低RC时间常数的新型电吸收调制器的研制
%A Qiu Yingping
%A Wang Yang
%A Shao Yongbo
%A Zhou Daibing
%A Liang Song
%A Zhao Lingjuan
%A Wang Wei
%A <br>邱应平
%A 汪洋
%A 邵永波
%A 周代兵
%A 梁松
%A 赵玲娟
%A 王圩
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 我们研制了一种带有插入电荷层和倒台型脊波导结构的新型集总型电吸收调制器（DU-EAM)。同时，为了验证这种新型器件具有低的RC时间数，我们也制备了另外两种具有直脊波导的集总型电吸收调制器作为实验参照组，其中一个含有电荷层，另一个不含电荷层。三种器件的测试结果表明，被插入一层电荷层的两种器件（D-EAM和DU-EAM）的电容明显小于普通的电吸收调制器。-3v偏压下，三种器件—N-EAM, D-EAM, DU-EAM 的电容分别为0.375PF, 0.225PF and 0.325PF，最佳偏置电压-3v下对应的最高调制带宽可以达到28.3GHz。DU-EAM因为具有较宽的有源区宽度，其-3V下的调制消光比高达25dB，-1v至-2v间调制效率高达13dB/v。
%K undercut waveguide
%K charge layer
%K modulation efficiency dual-depletion
%K capacitance
%K extinction ratio<br>电吸收调制器
%K 时间常数
%K 制造
%K RC
%K 企业资产管理
%K EAM
%K 脊波导
%K 偏置电压
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A0C0AC355ED3D774977D6C2DF8F59D9A&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=4EBD83A9FA496EEF&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=12