%0 Journal Article
%T A Novel Large-Scale Electromagnetically Actuated MEMS Optical Scanning Mirror<br>新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制
%A Mu Canjun
%A Zhang Feiling
%A Wu Yaming
%A <br>穆参军
%A 张飞岭
%A 吴亚明
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用.
%K micro-electronic mechanical system
%K large-scale optical scanning mirror
%K electromagnetically actuation
%K large rotation angle
%K optical reflectivity<br>MEMS
%K 大尺寸光学扫描镜
%K 电磁驱动
%K 大角度转动
%K 光学反射率
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=58D51F98056D10CE2FB8C5E177DC5305&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=38B194292C032A66&sid=7882A2973AA04DE8&eid=D5970ECA7D10A7B1&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=8