%0 Journal Article
%T Design, Fabrication, and Characterization of a High-Performance Monolithic Triaxial Piezoresistive High-g Accelerometer<br>单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试
%A Dong Peitao
%A Li Xinxin
%A Zhang Kun
%A Wu Xuezhong
%A Li Shengyi
%A Feng Songlin
%A <br>董培涛
%A 李昕欣
%A 张鲲
%A 吴学忠
%A 李圣怡
%A 封松林
%J 半导体学报
%D 2007
%I 
%X 设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面Deep ICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52 μV/g,谐振频率分别为309,302和156 kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%.
%K silicon micromachining technology
%K triaxial accelerometer
%K piezoresistive
%K high-g
%K plastic package<br>硅微机械加工技术
%K 三轴加速度计
%K 压阻
%K 高g
%K 塑封
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=40A3D579F9B9C08B&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=36534BF3EA0E1826&eid=BFA4330C9764AE1A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=9