%0 Journal Article
%T A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure<br>AlGaN/GaN型气敏传感器对于CO的响应研究
%A Feng Chun
%A Wang Xiaoliang
%A Wang Xinhu
%A Xiao Hongling
%A Wang Cuimei
%A Hu Guoxin
%A Ran Junxue
%A Wang Junxi
%A <br>冯春
%A 王晓亮
%A 王新华
%A 肖红领
%A 王翠梅
%A 胡国新
%A 冉军学
%A 王军喜
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于C0的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的C0的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通人1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.
%K AlGaN/GaN
%K CO
%K gas sensors<br>AlGaN/GaN
%K C0
%K 传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=B87C12364A85F5651B999A5E4C617CD7&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=718DA5F072AFDAC4&eid=1194166861DF0923&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=17