%0 Journal Article
%T 电迁徙参数—电流密度因子电流斜坡测试法
%A 李志国
%A 孙英华
%A 邓燕
%A 张炜
%A 程尧海
%A 郭伟玲
%A 张万荣
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 本文对电迁徙参数电流密度因子n及n值的精确测量技术进行了深入研究．首次提出了动态电流斜坡电流密度因子测试法（DCR）．该方法与传统的MTF法不同，能精确控制金属条温，消除了高电流密度条件下焦耳热的影响，提高了n值的测量精度与速度．研究了四种不同样品直流和脉冲条件下的n值．实验结果表明，n值与材料、频率、占空比有关，与温度、一定范围内的电流密度无关．
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=657C83FC560C2E10&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=708DD6B15D2464E8&sid=95780E43ADDDE2AA&eid=6D80B994DAB4686B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0