%0 Journal Article
%T 耐热光敏聚酰亚胺胶的研究
%A 韩阶平
%A 侯豪情
%A 徐卫东
%J 半导体学报
%D 1992
%I 
%X 本文重点研究了耐热光敏聚酰亚胺胶的配制,探索到了最佳溶剂和添加剂(即增感剂和交联剂等)、研究了添加剂的用量与感光特性的关系.
%K 光刻胶
%K 聚酰亚胺胶
%K 配制
%K 光敏
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=83E5486ABEF86F9D&yid=F53A2717BDB04D52&vid=FC0714F8D2EB605D&iid=38B194292C032A66&sid=50BBDFAC8381694B&eid=C29816B2656377A7&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=3