%0 Journal Article
%T Light extraction enhancement of SOI-based erbium/oxygen Co-implanted photonic crystal microcavities<br>光子晶体微腔对铒-氧共注入SOI的发光增强
%A Zhang Jiashun
%A Wang Yue
%A Wu Yuand
%A Zhang Xiaoguang
%A Jiang Ting
%A An Junming
%A Li Jianguang
%A Wang Hongjie
%A Hu Xiongwei
%A <br>张家顺
%A 王玥
%A 吴远大
%A 张晓光
%A 姜婷
%A 安俊明
%A 李建光
%A 王红杰
%A 胡雄伟
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 本文采用绝缘层上硅（SOI）材料制备了H5型光子晶体微腔，并注入铒和氧离子。室温下的光荧光测试结果表明，对比同等离子注入条件下没有图形结构的SOI区域，在波长为1.54μm处H5型光子晶体微腔的光泵浦发光强度增强了12倍以上。另外，我们也观察到了在晶格周期a不变的情况下，光子晶体微腔的谐振波长随空气孔半径的增大而向短波长方向移动的现象，这与理论模拟结果相一致。
%K Light extraction
%K Erbium/oxygen co-implantation
%K photonic crystal microcavity
%K SOI
%K Photoluminescence<br>光提取
%K 铒-氧共掺
%K 光子晶体微腔
%K 绝缘层上硅
%K 光致发光
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=D52C2BA5472F4DECC66DD57CA6050571&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=099D6F0FC4AAE8C1&eid=38B194292C032A66&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0