%0 Journal Article
%T Simple and low-cost fabrication of a metal nanoplug on various substrates by electroless deposition<br>用化学镀方法在不同衬底上制备纳米尺度金属插塞电极的研究
%A Cheng Kaifang
%A Wang Xiaofeng
%A Wang Xiaodong
%A Zhang Jiayong
%A Ma Huili
%A Chen Xiaogang
%A Liu Bo
%A Song Zhitang
%A Feng Songlin
%A Yang Fuhua
%A <br>程凯芳
%A 王晓峰
%A 王晓东
%A 张加勇
%A 马慧莉
%A 陈小刚
%A 刘波
%A 宋志棠
%A 封松林
%A 杨富华
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 纳米尺度金属插塞电极在现代纳米电子学中有很重要的应用价值。本文研究了用化学镀方法制备纳米尺度金属插塞电极，具有简单、低成本和自选择性的优点。化学镀甚至可以分别在硅衬底、钨衬底和氮化钛衬底上制备出直径小于50纳米的镍插塞电极。用能量色散X射线微量分析仪（EDXM）测定出用化学镀在硅衬底上制备出的纳米尺度插塞电极的主要成分是镍。最后，采用化学镀方法，制备了直径为9微米的插塞电极的垂直结构相变存储器器件。通过研究器件的电流-电压特性表明，化学镀方法可以满足器件应用要求。因此，用简单、低成本的化学镀方法来制备纳米尺度金属插塞电极，对器件的应用有重要意义。
%K electroless deposition
%K nanoplug
%K anodic aluminum oxide template<br>化学镀
%K 纳米尺度插塞电极
%K 阳极氧化铝模板
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3DFC88ABA190FA30F4F113AA83373A9B&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=E158A972A605785F&sid=E1ADE7A7712B10AB&eid=94C357A881DFC066&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0