%0 Journal Article
%T 氩离子在反应离子腐蚀Ⅲ-Ⅴ族材料中的作用
%A 李建中
%J 半导体学报
%D 1990
%I 
%X 本文以一些实例和所得到的结果来说明Ar~+离子在抑制晶向腐蚀作用、调节钝化阻挡层,以及清除微粒淀积物等方面的作用。
%K 反应离子刻蚀
%K 微细加工技术
%K Ⅲ-Ⅴ族材料腐蚀
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=0FAF19718C5D7D2F&yid=8D39DA2CB9F38FD0&vid=708DD6B15D2464E8&iid=59906B3B2830C2C5&sid=AB8B0EE7E1A96CB2&eid=27A5865B8C0B85C3&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0