%0 Journal Article
%T One-Dimensional InP-Based Photonic Crystal Quantum Cascade Laser Emitting at 5.36μm
5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器
%A Li Lu
%A Shao Ye
%A Liu Junqi
%A Liu Fengqi
%A Wang Zhanguo
%A
李路
%A 邵烨
%A 刘俊岐
%A 刘峰奇
%A 王占国
%J 半导体学报
%D 2008
%I
%X 制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg反射器.对于一个22μm宽,2mm长的正焊器件,80K下的光谱测试证实了其准连续激射,激射波长为5.36μm.
%K quantum cascade laser
%K photonic crystal
%K quasi-continuous-wave
量子级联激光器
%K 光子晶体
%K 准连续波
%K quantum
%K cascade
%K laser
%K photonic
%K crystal
%K quasi-continuous-wave
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E6DCF82A5A41EEC87A364CC3AE9BEFF5&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=8BD5F6E1A80D50C6&eid=B9CA56463DAD3251&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=8