%0 Journal Article
%T Effect of Native Oxide on Elasticity of a Silicon Nano-Plate<br>本征氧化层对Si纳米板弹性模量的影响
%A Wang Jing
%A Huang Qing''an
%A Yu Hong
%A <br>王静
%A 黄庆安
%A 于虹
%J 半导体学报
%D 2007
%I 
%X 采用能量法计算了表面不带氧化层的Si纳米板和表面带不同厚度氧化层的Si纳米板的杨氏模量.结果表明,表面带氧化层的Si纳米板杨氏模量随着板厚度的减小而增加,不带氧化层的则随之降低,但当板厚度增加时,它们都趋于一个定值123GPa.板的杨氏模量随表面氧化层层数的增加而上升,随着板厚度的减小,氧化层的影响起到了决定性的作用.当表面带氧化层的纳米板厚度为50nm时,板的杨氏模量随着氧化层层数的增加从120GPa上升到近200GPa.计算结果解释了目前报道的Si纳米板杨氏模量尺度效应不一致的原因.
%K native oxide
%K nano-plate
%K Young
%K modulus<br>本征氧化
%K 纳米板
%K 弹性模量
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DADFFDCE59D145BD&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=94D812A784CFA7CC&eid=33C2C2DAF31F219B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=10