%0 Journal Article %T 高电子迁移率GaAs/Al_xGa_(1-x)As二维电子气(2DEG)异质结结构参数优化研究 %A 杨斌 %A 王占国 %A 陈涌海 %A 梁基本 %A 廖奇为 %A 林兰英 %A 朱战萍 %A 徐波 %A 李伟 %J 半导体学报 %D 1995 %I %X 本文采用三角附近似,考虑了GaAs/AlxGa(1-)xAs二维电子气(2DEG)异质结中七种主要的散射机制,计算了2DEG电子迁移率与隔离层厚度(d)和Al组分(x)的关系,对GaAs/AlxGa(1-x)AS异质结的结构参数进行了优化分析.就作者所知,本文首次计算了2DEG电子迁移率与Al组分x的关系,得到了与实验规律一致的结果. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=751D9EE7044F2DCA&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=C19D5524C51D7FE4&eid=2868AE484E7BAD6B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0