%0 Journal Article
%T Kinetic Study of Al Distribution Coefficient in MOVPE Growth of AlGaAs<br>MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究
%A GONG Yan
%A |ning
%A MO Jin
%A |ji
%A YU Hai
%A |sheng
%A XIA Guan
%A |qun
%A <br>公延宁
%A 莫金玑
%A 余海生
%A 夏冠群
%J 半导体学报
%D 2000
%I 
%X 从固态组分控制方面，对ＡｌＧａＡｓ的常压金属有机物气相外延（ＡＰ－ＭＯＶＰＥ）生长技术进行了研究．首先，在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下，经理论推导，给出了ＡｌＧａＡｓＡＰ－ＭＯＶＰＥ生长过程中控制参数和Ａｌ在固、气相间的分配系数ｋＡｌ之间的关系式．之后，依据该关系式分析实验数据，并对ｋＡｌ的动力学行为规律进行了研究．结果表明，ｋＡｌ值大小与ＡｌＡｓ和ＧａＡｓ的生长效率（单位ⅢＡ族原子输入量下材料的生长速率）之比Ｋ的大小有关：ｋＡｌ随Ｋ的增加而增大；当Ｋ＞１时，ｋＡｌ＞１，当Ｋ＜１时，ｋＡｌ＜１，
%K AlGaAs
%K MOVPE
%K Al Distribution Coefficient
%K Kinetics<br>AlGaAs
%K 金属有机物气相外延
%K Al的分配系数
%K 动力学
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=5496780210C383A4&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=659D3B06EBF534A7&iid=0B39A22176CE99FB&sid=205BE674D84A456D&eid=A8DE7703CC9E390F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=11