%0 Journal Article
%T 适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片
%A 战长青
%A 罗台秦
%A 刘理天
%A 钱佩信
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属铝）．实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺参数，可使该结构在5伏电压下稳定工作，为实现硅微机械系统（MEMS）奠定了基础．这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大
%K 硅
%K 微机械系统
%K MEMS
%K 集成驱动结构
%K 双金属效应
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E3102F847C8932C92956191DECB3781B&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=B31275AF3241DB2D&sid=5319469C819FCFF1&eid=C66DE7562B0326E2&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=0