%0 Journal Article
%T Design and Noise Analysis of A Micromachined Gyroscope Working at Atmospheric Pressure<br>大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性
%A Chen Yong
%A Jiao Jiwei
%A Wang Huiquan
%A Jin Zhonghe
%A Zhang Ying
%A Xiong Bin
%A Li Xinxin
%A and Wang Yuelin
%A <br>陈永
%A 焦继伟
%A 王惠泉
%A 金仲和
%A 张颖
%A 熊斌
%A 李昕欣
%A 王跃林
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺．该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼，有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度,同时降低了陀螺的热机械噪声．对陀螺噪声特性进行的分析表明，该陀螺具有相对很低的热噪声．制作了陀螺芯片，并测试了其机械性能和噪声特性．结果表明，该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/Ｈｚ1/2，灵敏度为10mV/（°·s－１）．该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率．
%K gyroscope
%K silicon micromachining
%K noise
%K slide-film damping<br>陀螺
%K 微机械加工
%K 噪声
%K 滑膜阻尼
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=92EBC990ADC92223&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=856C2E13D1000DB7&eid=04445C1D2BDA24EE&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=5&reference_num=4