%0 Journal Article %T 100GHz带宽的光电导探测器芯片 %A 王纪龙 %A 王云才 %A 徐遵图 %J 半导体学报 %D 1997 %I %X 本文报道了利用共面微带线间的指状交叉型光电导开关,在以蓝宝石为衬底的硅片(SOS)上构造了一种新型的光电探测器.非接触电光取样测量表明,它具有超过100GHz的-3dB带宽.在100fs、25pJ的脉冲激光照射下,产生的电脉冲峰值约为300mV,脉宽(FWHM)为3.3ps. %K 光电导探测器 %K 芯片 %K MSM %K 共面微带型 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=46BB18A8A17C52DD&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=59906B3B2830C2C5&sid=72D13CE6C162BDF4&eid=D4A72ABDCEDCE1BD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=3