%0 Journal Article
%T SnO_2/ITO复合透明导电膜研究
%A 宿昌厚
%A 庞大文
%A 张治国
%J 半导体学报
%D 1991
%I 
%X 在普通的真空镀膜机上,首次采用电阻加热蒸发和电子束蒸发相结合的新工艺,研制出平面的和绒面的 SnO_2/ITO复合透明导电膜.在可见光区内膜的透射率分别大于 90％和 85％,方块电阻小于 10Ω/□.用这种膜制备非晶硅太阳电池,效果令人满意,光电转换效率与日本旭消子的同类膜相同.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=419CB6E9598EC64CB040F261E878D7E5&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=708DD6B15D2464E8&sid=6452E1221020E61F&eid=A586B761C9AA2FAA&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0