%0 Journal Article
%T A Modified Sol-Gel Coating Method for BST Thick Films on Silicon Substrates<br>硅基衬底Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3厚膜制备的Sol-gel新方法
%A Wang Zheyao
%A Liu Jianshe
%A Ren Tianling
%A Liu Litian
%A Li Zhijian
%A <br>王喆垚
%A 刘建设
%A 任天令
%A 刘理天
%A 李志坚
%J 半导体学报
%D 2002
%I 
%X 介绍了一种改进的制备压电厚膜的 sol- gel新方法 ,通过添加聚乙烯吡咯烷酮 (poly vinyl pyrrolidone,PVP)来抑制厚膜中裂纹的产生 .文中讨论了最大无裂纹膜厚与 PVP摩尔比及热处理的关系 ,并给出了 BST的 SEM显微照片 .
%K BST
%K thick film
%K MEMS
%K sol-gel<br>BST
%K 厚膜
%K MEMS
%K 溶胶-凝胶(sol-gel)
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DDA659154AD5C4A6&yid=C3ACC247184A22C1&vid=EA389574707BDED3&iid=5D311CA918CA9A03&sid=CE16DE2ABCD4D365&eid=849A5A9D85EBE6D4&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=14