%0 Journal Article %T 发可见光多孔硅的电子顺磁共振研究 %A 贾勇强 %A 傅济时 %A 毛晋昌 %A 吴恩 %A 张伯蕊 %A 张丽珠 %A 秦国刚 %J 半导体学报 %D 1993 %I %X 本文研究了发可见光的多孔硅薄膜及其粉末的电子顺磁共振(EPR)信号。采用不同电阻率和不同晶向的硅单晶衬底,经过不同条件的阳极氧化制成多孔硅薄膜,其光致发光峰在可见光范围,其EPR信号(标记为PK6)来自三角轴对称的自旋中心,对称轴方向是衬底晶格的〈111〉晶向。该结果说明多孔硅中保留着单晶硅成份。分析PK6的对称性及其g张量主值发现它很可能是硅悬键。多孔硅粉末的EPR信号表现为PK6信号的无规取向平均谱。 %K 多孔硅 %K 顺磁共振 %K 发光 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F374A365E45EB777&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=B31275AF3241DB2D&sid=44FDB9366EDDFA2B&eid=40862C82D74F7473&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=2