%0 Journal Article
%T 一种结构改进了的硅基微静电马达
%A 孙曦庆
%A 李志坚
%A 费圭甫
%A 刘理天
%J 半导体学报
%D 1993
%I 
%X 本文介绍一种结构改进了的硅基微静电马达。通过在微马达转子下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测,这对于实现转速自动控制和制作各种传感器有重大意义。利用复合膜牺牲层腐蚀技术制成了一种曲颈状轴承,该轴承能够大大减小马达转动时的摩擦阻力矩。微静电马达转子直径分100和120μm两种,膜厚约2μm,定子与转子的空气间隙为2μm。初始测量结果表明该微马达有良好的性能,具有实用化前景。
%K 微电机
%K 硅基
%K 微型涡轮机
%K 集成电路
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=22236768C273EEE4&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=FB36B1C076A263FA&eid=366B1248A15658C5&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=2