%0 Journal Article
%T Design and Fabrication of a F-P Optical Switch Based on MOEMS Technology<br>基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作
%A Xu Yang
%A Wu Jihong
%A Liu Litian
%A Chen Jing
%A Dong Liang
%A <br>徐杨
%A 吴霁虹
%A 刘理天
%A 陈兢
%A 董良
%J 半导体学报
%D 2002
%I 
%X 研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 .
%K Fabry-Perot cavity
%K optical switch
%K MOEMS<br>F-P腔
%K 光开关
%K MOEMS
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=1FC9A069ED003641&yid=C3ACC247184A22C1&vid=EA389574707BDED3&iid=5D311CA918CA9A03&sid=F7B726EE3ACCF328&eid=450524CAAD043961&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=7