%0 Journal Article
%T Optically Pumped InGaAs/InGaAsP MQW Microdisk Lasers Grown by MOCVD<br>MOCVD生长InGaAs/InGaAsP多量子阱光泵微碟激光器
%A WU Gen-zhu
%A ZHANG Zi-ying
%A REN Da-cui
%A ZHANG Xing-de
%A <br>吴根柱
%A 张子莹
%A 任大翠
%A 张兴德
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 用 MOCVD方法生长了 In Ga As/ In Ga As P多量子阱微碟激光器外延片 ,用光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等现代化的微加工技术制备出直径 9.5μm的 In Ga As/ In Ga As P微碟激光器 ,并详细介绍了整个制备工艺过程 .在液氮温度下用氩离子激光器泵浦方式实现了低阈值光泵激射 ,测出单个微碟激光器的阈值光功率为 15 0μW,激射波长约为 1.6μm,品质因数 Q=80 0 ,激射光谱线宽为 2 nm,同时指出微碟激光器激射线宽比 F- P普通激光器宽很多是由于其品质因数很高造成的
%K microdisk Lasers
%K dry etching
%K optically pump ing
%K wet etching
%K quality factor<br>微碟激光器
%K 干法刻蚀
%K 光泵浦
%K 湿法刻蚀
%K 品质因数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=2883F3A33DAEA724&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=5D311CA918CA9A03&sid=C6E83222BCBFFFF8&eid=D7C79E0E439D0B57&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=12