%0 Journal Article
%T Effect of Surface-Covered Annealing on the Optical Properties of ZnO Films Grown by MOCVD
%A Wang Li
%A Pu Yong
%A Fang Wenqing
%A Mo Chunlan
%A Xiong Chuanbing
%A Jiang Fengyi
%A <br>Wang Li
%A Pu Yong
%A Fang Wenqing
%A Mo Chunlan
%A Xiong Chuanbing
%A Jiang Fengyi
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 研究了暴露在空气中退火和表面覆盖蓝宝石基板退火对MOCVD生长的ZnO薄膜光学性质的影响. 研究发现，暴露在空气中退火虽可以去除薄膜中的氢杂质，并在低温光致发光(PL)谱中观察到与氢相关的束缚激子峰消失，但是退火后样品室温PL谱中可观察到很强的可见光发射，表明样品中引入了大量的深能级，样品的自由激子发光没有增强. 而表面覆盖蓝宝石基板退火的样品，有效去除了氢杂质，但没有观察到可见光发射，说明表面覆盖蓝宝石基板退火可以有效地保护ZnO表面不分解，不生成深能级中心. 由于激子束缚中心的减少，表面覆盖退火样品的自由激子发射大大增强.
%K zinc oxide
%K annealing
%K optical properties
%K exciton<br>氧化锌
%K 退火
%K 光学性质
%K 激子
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E53F99C99BF92553C82CDDFA86FE2B8C&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=38B194292C032A66&sid=0493D643315CD829&eid=216EFB25F7F834CC&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0